爱德华真空泵维修之前首先应摸清它的底细，即该泵制造工艺情况、使用情况、原始参数数据、日前：A况、故障前的使用环境、负材状况、故隙现象婶，然后根据操作使用者的反映，以及亲自观察和试仙测所掌搬的资料，述立起该设备的档案卡片，记载下所了解的情况和维修简历，综合判断该泵故障原团和部位，对症下药，爱发科真空泵维修哪家好，这些故障是可以排除的

主要特性和优势

真空外壳中 不需要使用润滑剂，完全密封可保证的清洁和干燥真空， 防止交叉污染

无大气压到 真空的轴封可使轴承完全隔离，从而阻止制程攻击，爱发科真空泵维修哪家强，轴承也能 以更低温度运行，使用时间更长

简单的单侧 滚轴布置与创新的电机和轴承设计相结合，只需低程度的 特殊工具，就能实现轻松的现场服务，爱发科真空泵维修公司，因此可降低运行成本， 尽可能延长正常运行时间

改进了电机和 传动效率，可降低功耗和运行成本

EPX 180真空干泵

EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。

EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获的单轴再生 Holweck? 分级机构， 能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。

EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，又可以远程 安装。此外，爱发科真空泵维修，通过集成的 MicroTIM 电子模块还可以与制程工具 轻松建立接。

泵系列

EPX180L、LE、N、NE

EPX180 TwinL、LE、N、NE

EPX500L、LE、N、NE

真空泵维修的结构特征以及零部件磨损规律，通常采用以下两类典型的维修方式。

1、事后维修

它是指机械设备发生故障后才进行的维修。它包括查找故障部位、进行修复或更换零部件、调整、验收等一系列技术活动，是一种古老的维修方式，仅适用于安全性、可靠性要求不高的情况。

2、预防维修

预防维修是指机械未发生停机故障或损失之前所进行的维修。随着设备或系统结构的日趋复杂，以及因发生故障所造成的经济损失日益增大，那种只通过事后维修的方法越来越满足不了需要，采用预防维修是不可缺少的。

的舱室抽空时间可减少 总体平均循环时间 (TACT)

仅仅 0.55kW 的功耗 有助于减少客户拥有成本

环保模式可以在空闲 期间多减少 92% 的功耗

35oC 的水 供给有助于降低设备冷却水要求

且极轻， 有助于节省宝贵的工厂空间

适用于严苛应用的大型 iXL 干泵

iXL1000：紧凑型低能量的干 泵，适用于轻负载应用。它提供快速舱室抽空和 极低的功耗。可用于轻负载应用（如晶圆加工、PVD 和 计量）的且安静的泵之一。此产品 在高度成功的 iXL120 泵的基础上构建，具有高抽取速度和 低能耗特性。通过环保模式可在空闲期间降低设备 使用率，从而降低成本并帮助保护环境。

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