机械真空泵常见的故障之一，主要发生在真空泵的油窗、油箱密封垫、电机轴承轴封三个位置上，其主要原因是真空泵使用时间过长而引起这些部位老化，密封失效，从而导致漏油。

解决办法：更换老化的油窗、轴封、密封垫和已吸满泵油的毛毡垫，维修完成后，注油前应用爱德华真空泵泵油冲洗真空泵，并用溶剂清洗注油口处的滤网，以保持油箱的清洁。

抽不到真空泵的极限真空度：首先检查真空系统的气密性，看是否有轻微漏气。其次应打开气镇，让泵运行30分钟左右，进口真空泵维修，来抽干非泵油污染引起的可压缩蒸汽，真空泵维修，排除可压缩蒸汽对极限真空度的影响。

应用

一般清洁泵送

电子扫描显微镜 (SEM)

射束线和高能物理

前级涡轮泵

超高速离心机

先进的接口 提供了各种传统、模拟和数字控制方法，可通过 USB、RS232 或 RS485 实现 远程控制/监视

泵系列

下一代完全无油的干式涡旋泵，可在各种应用中取代同等尺寸的干泵和中等尺寸的油封泵。nXDS 提高了传统 XDS 泵的性能，抽取速度更高的，真空泵维修保养，极限压力更低，功耗更低，噪声更小。气镇允许泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶剂、稀酸和碱。nXDS 泵还采用了新的端部密封技术，显著延长了端部密封更换的时间间隔。具有自动电压输入感知功能的集成变频器驱动提供整体优化的泵送性能，nXDS 泵可完全进行现场维修。

nXDS6i

nXDS10i

nXDS15i

nXDS20i

nXDS-C

对于旋片式机械真空泵属于爱德华真空泵为获真空度而采用的双级结构，这种双级旋片结构的真空泵产品在维修的过程中我们首x需要对其的工作原理进行系列的熟悉和了解，干式真空泵维修，

真空泵无法启动的问题主要反映为真空泵加电后不能启动运转。当出现这种情况之后首先检查真空泵的电路部分，查看下电路部分有没有元气件烧坏、保险管是否烧毁等。

EPX 180真空干泵

EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。

EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获的单轴再生 Holweck? 分级机构， 能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。

EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，又可以远程 安装。此外，通过集成的 MicroTIM 电子模块还可以与制程工具 轻松建立接。

泵系列

EPX180L、LE、N、NE

EPX180 TwinL、LE、N、NE

EPX500L、LE、N、NE

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